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設(shè)備名稱 HMDS烘箱 品牌型號(hào) 鑫力V0-30-HMDS

設(shè)備用途
在樣片表面粘附一層HMDS以增加樣片和光刻膠的粘附力。

主要技術(shù)指標(biāo)：
溫度范圍：室溫-150℃
控溫精度：±4℃
漏率：腔體漏率小于1Torr/5min

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